Unsere CREAMET® Anlagen lassen sich auch mit Plasmaquellen und Heizsystemen ausrüsten.
Anwendungen können dabei das Hochvakuumtempern von Quarzen, Wafern, Metallen und anderen Substraten, oder auch die Plasmavorbehandlung bzw. Oberflächenätzen von unterschiedlichsten Materialien sein. Als Plasmaquelle werden verschiedenartige HF- oder Mikrowellen-Quellen eingesetzt.
Um hochreine Schichten abzuscheiden werden sehr gute Vakuumbedingungen benötigt. Unsere CREAMET® UHV Anlagen sind mit einem Ultrahochvakuum tauglichen Pumpstand ausgestattet. Durch den Einsatz von Metalldichtungen, ausheizbaren Kammer und die strikte Auswahl der eingesetzten Materialien, erreichen unsere Beschichtungs- und Messanlagen einen Basisdruck von mindestens 10-10 mbar.
Nicht jedes Schichtsystem lässt sich in nur einer Vakuumkammer realisieren. Zur Durchführung von komplexen Beschichtungsaufgaben mittels PVD- und CVD-Prozessen haben wir ein Mehrkammer-Anlagensystem entwickelt. In den einzelnen Vakuumkammern kann eine Vielzahl von Beschichtungsprozessen wie z.B. Sputtern, Elektronenstrahl-Verdampfen, thermischen Verdampfer, Plasma-CVD Verfahren integriert werden. Eine spezielle röntgensichere Kammerkonstruktion erlaubt auch den Einsatz von Elektronenstrahl-Verdampfern mit hohen Beschleunigungsspannungen.
Für die Beschichtung von 3-D-Prototypen und Mustern haben wir ein spezielles Anlagendesign entwickelt. Mit Hilfe eines modernen Hochvakuumpumpstandes und thermischen Verdampfern können Substrate bis zu einer maximalen Größe von 2.000 mm Länge und 1.000 mm Durchmesser beschichtet werden. Die Integration einer zusätzlichen HMDS Schutzbeschichtung in den Beschichtungsprozess ist ebenfalls möglich. Nach Bedarf der maximalen Substratdimensionen kann die genaue Anlagengröße angepasst werden.
Für die Beschichtung flexibler Materialen wie Folien, Gewebe oder Dünnglas bis 300 mm Substratbreite steht unsere Rolle-zu-Rolle- Anlage zur Verfügung. Neben verschieden (Mehr-) Schichtsystemen können auch beidseitige Beschichtungen durchgeführt werden. Diese Demonstrationsanlage steht für die Muster- und Kleinserienbeschichtung zur Verfügung.