
Reinraumapplikationen
Unsere Beschichtungsanlagen können auch reinraumtauglich ausgeführt werden. Die CREAMET® 500 BC 12 ist eine Hochvakuumanlage mit integrierter Glovebox. Sie verfügt über ein Zwei-Kammersystem mit einer Plasmaaktivierungs- und einer Beschichtungskammer mit automatischem Substrattransport. Zwölf einzelne thermische Verdampfer lassen sich separat regeln.
Das Maskensystem ist mit Wechselstationen im Vakuum ausgestattet.