Plasma- und Ätzanlagen

Unsere CREATCH 250 TWIN ist eine Plasmaätzanlage mit einem doppelten vertikalen Kammeraufbau. Die Doppelkammer besteht aus implosionssicheren, abgeschirmten Glasglocken. Durch den gemeinsamen Hochvakuumpumpstand und Plasmagenerator arbeitet die CREATCH 250 TWIN kostengünstig.

Im Vergleich dazu arbeitet unsere CREATCH 250 Plasma MV mit einer Plasma-Aktivierungskammer mit
Mikrowellen-Quelle. Auch sie verfügt über einen vertikalen Kammeraufbau. Die CREATCH 250 Plasma MV hat eine integrierte Vorvakuumpumpe. CVD-Prozesse können auf Wunsch eingefügt werden.